氧化鋁陶瓷具有高硬度、高彈性模量、高耐磨性、高絕緣性、耐腐蝕性、低膨脹性等性能,成為許多高精度、高性能領(lǐng)域不可或缺的材料,適合充當(dāng)多種精密部件。它特別適合充當(dāng)以下類型的精密部件:
半導(dǎo)體制造與電子封裝:
絕緣環(huán)、基座、腔體部件、基板、封裝、靜電卡盤(pán)基座、晶圓搬運(yùn)臂末端執(zhí)行器;
精密機(jī)械與儀器儀表:
耐磨密封環(huán)、機(jī)械密封件、精密軸承(球、滾子)、導(dǎo)軌、滑塊、測(cè)量探針、測(cè)頭、激光器腔體、反射鏡基座;
能源與環(huán)保:
燃料電池部件、傳感器基體與保護(hù)套、耐磨襯板、噴嘴;
其他高要求場(chǎng)景:
真空系統(tǒng)部件(絕緣子、饋通件、腔體襯里)、紡織工業(yè)導(dǎo)絲器等廣泛的應(yīng)用。
總而言之,氧化鋁陶瓷是要求高硬度、高耐磨、高絕緣、耐高溫、耐腐蝕、尺寸穩(wěn)定、生物相容等綜合性能的精密部件的材料之一,尤其是在半導(dǎo)體、高端機(jī)械密封、醫(yī)療植入體和特種儀器儀表等領(lǐng)域扮演著關(guān)鍵角色。