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有哪些常見的氧化鋁陶瓷半導體設備零件呢?

時間:2024-07-23

  氧化鋁陶瓷在半導體設備中的應用非常廣,因為氧化鋁陶瓷有著高的導熱系數且材料比較便宜,所以高純度的氧化鋁陶瓷經常被用在泛半導體設備零部件中,今天永晟陶瓷小編就為大家分享一些被應用在泛半導體設備上氧化鋁陶瓷。

永晟陶瓷板2.jpg

  由于氧化鋁陶瓷有著高耐磨、熱導率高、高硬度、絕緣性能好及耐腐蝕等性能,所以經常被應用在如光刻機、半導體刻蝕設備、離子注入機、沉積設備等等,除了氧化鋁陶瓷以外,經常被應用在半導體設備中的還有氮化鋁、氮化硅、碳化硅、可加工陶瓷等。

  那么有哪些常見的氧化鋁陶瓷半導體設備零件呢?

  如氧化鋁真空吸盤,半導體行業的零部件對于晶圓的要求很嚴格,只有好的晶片才能避免對器件非常有害的電學和機械缺陷,因此需要對晶片進行整型、切片、研磨、清洗等多個步驟。在這些工序里,晶片都需要一個可以安置并固定的工作臺,采用陶瓷真空吸盤,也即一種通過高溫燒結在材料內部生成大量彼此連體或閉合的均勻實心或者真空體陶瓷,來通過真空吸力將半導體片、玻璃基板材料等工作物固定住。

陶瓷件永晟2.jpg

  再比如常見的陶瓷機械手臂,在晶圓片的搬運中,會應用到氧化鋁陶瓷制成的陶瓷機械手臂,將其安裝在晶圓搬運機器人上,相當于機器人的手,負責搬運晶圓片到指定位置,其表面直接與晶圓接觸。因為晶圓片在極其容易受到其他顆粒的污染,所以一般在真空環境下進行。在此環境下,大部分材料的機械手臂一般難以完成工作,制作機械手臂的材料需要耐高溫、耐磨、并且硬度也需要很高。

  應用在半導體常見的零件還有許多,我們永晟陶瓷就是精密加工氧化鋁、氮化鋁、碳化硅陶瓷等等工業陶瓷的精密加工廠家,如果有需要可以通過網站電話聯系我們哦。


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